光氧等離子凈化器初級電子在電場中獲得加速，撞擊空氣中的氧分子。當能量超過氧分子的電離電位時氧分子離子化。失去電子的氧分子變成正極性氧離子（O2+），而釋放的電子又與另一中性氧分子結合變成負極性氧離子（O2－），結果是氧離子的兩級分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2－、O2等氧聚集的離子群，具有的氧化性，可在很短的時間內將污染空氣中的成分氧化分解為的產物和水。

光氧催化工作原理：

利用   的   高臭氧UV紫外線光束照射惡臭氣體，裂解惡臭氣體如：磷化氫、氨、胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H₂S、VOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在   紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO、H₂O等。

1、利用同波段UV紫外線光束與二氧化鈦板發(fā)生光觸煤效應，裂變、氧化污染氣體。

2、利用   高臭氧氣UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O₂→O-+O*（活性氧）O+O₂→O₃（臭氧），眾所周知臭氧對物具有的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有的   效果。

3、惡臭氣體利用排風設備輸入到本動凈化設備后，凈化設備運用   UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質其降解轉化成低分婦化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。

4、利用   UV光束裂解惡臭氣體中的分子鍵，破壞的核酸（DHA），再通過臭氧進行氧化反應，   達到脫臭及殺滅的目的。